一个直径 12.5 mm 的铝制样品座,里面嵌了 4 种高纯元素,覆盖 BSE 图像的低、中、高灰阶;这几种元素彼此挨得很近,嵌在一块对比度明显的基质里。这是一个用来校准 /、检测 SEM 背散射电子探测器性能的"标尺样品"。
使用:
1. 把标样桩装进 SEM 样品室,对好焦
2. 切换到 BSE 探测器,在固定束流、固定探测器增益下拍一张图像
3. 用软件在 C、Co、Rh、Au 四个区域分别取灰度平均值
4. 横轴 Z、纵轴 GL 做线性拟合,得到这台机器的 BSE 标定曲线
5. 把曲线存下来,后续测未知样品时即可由灰度反推平均原子序数;或者定期重测这条曲线,监控探测器是否衰减
货号 | 产品描述 | 规格 |
80070EBP | MAC基础BSE检测仪测试标样(非标准) | 个 |

