产品介绍

Wehnelt Aperture（光阑）是一种用于电子显微镜（特别是扫描电子显微镜SEM）中的关键部件，主要用于优化电子枪的性能。

一、金属钽圆形光阑

1. 基本功能

l   聚焦电子束：通过静电场控制从阴极发射出的电子轨迹，使其更集中

l   限制发射区域：只允许中心区域的电子通过，提高束流质量和稳定性

l   调节束流强度：配合偏压使用，可控制发射电流大小。

2. 材料特性：0.1mm厚的钽箔（Tantalum Foil制成）。

钽（Tantalum）是一种高熔点（约3017°C）、耐腐蚀、化学性质稳定的金属。

在高真空和高温的电子枪环境中，钽具有良好的热稳定性、抗电子轰击能力、低蒸气压、不易污染真空系统。

   0.1 毫米厚度薄箔便于精密加工成微小孔径的光阑，同时保持结构强度。

3. “可更换”设计的意义

长期使用中，光阑孔可能因电子轰击、污染或氧化而劣化，影响电子束质量。

可更换式设计允许用户在不更换整个电子枪组件的情况下，仅替换光阑，降低成本并简化维护。

4. 适用设备

适用于 Amray 和 Philips（飞利浦）品牌的部分型号电子显微镜。

这两个品牌在20世纪中后期是SEM领域的重要制造商（Amray 后被收购，Philips 的电镜业务后成为 FEI 公司，现属 Thermo Fisher Scientific）。

二、Strip Aperture（条形光阑）

  在一条金属带上加工出多个不同尺寸或形状的孔即“multihole”，多孔设计。

由铂铱合金（95：5）制成，这种合金具有如下优势：

l   极高的化学惰性：几乎不氧化、不腐蚀，即使在高真空或高温下也极其稳定；

l   高熔点与机械强度：比纯铂更硬、更耐磨，适合精密微加工；

l   低蒸气压：不会在真空系统中释放气体，避免污染；

l   抗电子束损伤：长期受电子轰击不易变形或产生污染。

  1、 日立(HITACHI)光阑，41.0 X 4.0 X 0.1mm，4孔

  2、日本电子(JEOL)光阑 9.0 X 2.35 X 0.1mm，3孔

产品优势