超平硅片（AFM、SEM用硅片）
常作为AFM和SEM基片，用在科学研究中，超平硅片的一些参数如下：
4" | 6" | 8" | |
直径 | 100 mm | 150 mm | 200 mm |
向性 | <100> | <100> | <100> |
级别 | P/Boron | P/Boron | P/Boron |
Growth Method: | CZ | CZ | CZ |
电阻率 | 10-20 Ohm-cm | 10-20 Ohm-cm | 10-20 Ohm-cm |
厚度 | 525µm ±20µm | 675µm ±20µm | 725µm ±20µm |
TTV: | <4.00µm | <4.00µm | <4.00µm |
SFPD: | <2.0µm | <2.0µm | <2.0µm |
Warp: | ≤30µm | ≤30µm | ≤30µm |
Bow: | ≤30µm | ≤30µm | ≤30µm |
微粒数 | ≤20@≥0.3µm | ≤20@≥0.3µm | ≤20@≥0.3µm |
正面Front Surface | Polished | Polished | Polished |
背面Back Surface | Etched | Etched | Etched |
平整度Flat: | 2 per SEMI Standard | 1 per SEMI Standard | 2 per SEMI Standard |
Site Flatness: | <2.0µm | <2.0µm | <2.0µm |
粗糙Roughness | Typically 2-3Å | Typically 2-3Å | Typically 2-3Å |
货号 | 产品描述 | 规格 |
71893-01 | 超平硅片Ultra-Flat Silicon Wafer, 4" | 1片 |
71893-02 | 超平硅片Ultra-Flat Silicon Wafer, 6" | 1片 |
71893-03 | 超平硅片Ultra-Flat Silicon Wafer, 8" | 1片 |
