产品导航
首页 >> 产品中心 >> C 镀膜仪器 >> EMS300R T大样品离子溅射镀膜仪(Large Chamber Sputter Coaters)
EMS300R T大样品离子溅射镀膜仪(Large Chamber Sputter Coaters)

    适合SEM(扫描电镜)、FE-SEM(场发射扫描电镜)、TEM(透射电镜)。

    EMS300R T EMS150R T相似,明显区别是EMS300R T腔室足够大,达到283mm,采用旋转真空泵抽真空;此外,它配备三个独立的溅射头,确保靶材粒子在大样本上的沉积效果。适合溅射不易氧化的贵金属如金、金/钯、铂等。(注意:既能溅射不易氧化金属,又能溅射易氧化金属,另见EMS300T T)。

特征参数:

1、 可以进行超大样本(直径至203mm)的金属镀膜

2、 三个溅射头确保溅射沉积质量

3、 单靶材选择功能,可以进行小样本镀膜

4、 多种金属靶材比如金、金/钯、铂等可选

5、 选择装配膜厚监测仪可以精确控制膜厚

6、 全自动触摸屏控制,快速数字输入,操作简便

7、 可以储存不同用户的程序

8、 能够记录100个最新镀膜细节

9、 真空自动控制,且具有真空保持功能

10、 落入式样品台拆装方便(标配是旋转样品台)

11、 最长60分钟不间断镀膜能力

12、 符合人体工程学的整体注塑机身

13、 电气符合CE要求

14、 三年质保

   

  

  

    

样品台:

    EMS300R T有多种型号的样品台可以选择,用于满足目前大部分需求。落入式设计使得不同型号的样品台之间更换简便,样品台除了行星台外其高度均可调,旋转速度在预设范围内实现可调。

l  扁平样品台,用于晶圆的镀膜(152mm-203mm),标配

l  旋转样品台,50mm,不能倾斜

l  旋转倾斜样品台,50mm,高度可调(靶材与样本之间的距离在30-80mm之间可调),倾斜角度在0-30度之间

l  用于拨片的旋转台

l  加高腔室:需要时可以得到(付费)

仪器参数:

仪器外形尺寸

585mm W x 470mm D x 410mm H (total height with coating head open: 650mm)

重量

36.4kg

包装尺寸

725mm W x 660mm D x 680mm H (44.8kg)

工作腔室

高硼硅玻璃283mm ID x 127mm H

安全保护

整体PET套筒

显示

145mm x 320mm x 240mm TFT彩显

使用者界面

直观的图形界面,触摸键。记忆功能:维护提醒及最后100个镀膜方案日志记录

溅射靶材

标配三个57 mm Ø x 0.1 mm金靶 (SC502-314A)

真空:

旋转真空泵

50L/m two-stage rotary pump with oil mist filter. Order separately, 91005.

真空监测

皮拉尼测量

极限真空度

洁净系统可达 2x10-2 mbar,充氮气

样品台

标配晶圆样品台,152mm-203mm,旋转速度可调

溅射

根据镀膜厚度或内置的计时器,溅射电流范围在0-80mA ,最长溅射时间不超过60分钟

其它重要信息:

需要气体

氩气 99.999%,氮气可选(排气时需要)

电源

90-250V 50/60Hz 1,400VA including RV3 rotary pump power. (注意电压的选择)

电气标准

符合电气CE认证要求

订购信息:

货号

产品名称

规格

EMS300R T

EMS300R T 大样品离子溅射镀膜仪Large-Chamber-Rotary-Pumped Sputter Coater, fitted with three sputtering heads to ensure even metaldeposition. Include three 57mm Ø x 0.3mm gold (Au) sputter targets. A flat rotation stage for 8”/203 mm/and 6”/152 mm wafers is fitted as standard

EACH

91005

爱德华旋转真空泵(单独购买)Edwards RV5 90L/s two-stage rotary pump, with vacuum hose, coupling kit and oil mist filter

EACH

 

相关产品
电话
010-52571502
010-51248120
有事Q我
有事Q我
邮箱
hedebio@163.com